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    • 专利摘要:
    Eineintegrierte Schaltungsanordnung umfasst einen Eingangsanschluss(IN) zum Anlegen einer Versorgungsspannung (Vext) und einen Ausgangsanschluss(A) zur Erzeugung einer Ausgangsspannung (Vout). Zwischen den Eingangsanschlüssen (IN)und dem Ausgangsanschluss (A) sind ein erster Zweig mit einem erstensteuerbaren Widerstand (T1) und ein zweiter Zweig mit einer Ladungspumpe(10) und einem zweiten steuerbaren Widerstand (T2) geschaltet. EineSteuerschaltung (20) verändertdie Widerstandswerte des ersten und zweiten steuerbaren Widerstandes(T1, T2) in Abhängigkeitvon einem Verhältniseines Istwertes (Vout) der Ausgangsspannung zu einem Sollwert (VSout)der Ausgangsspannung und einem Verhältnis eines Istwertes (Vext)der Versorgungsspannung zu einem Sollwert (VSext) der Versorgungsspannung.Dadurch lässtsich die Ausgangsspannung (Vout) nahezu unabhängig von Schwankungen der Versorgungsspannungauf den Sollwert (VSout) stabilisieren.
    公开号:DE102004022425A1
    申请号:DE200410022425
    申请日:2004-05-06
    公开日:2005-12-01
    发明作者:Jörg Dr. Kliewer；Manfred Pröll；Ralf Schneider；Stephan Dr. Schröder
    申请人:Infineon Technologies AG；
    IPC主号:G05F1-595
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft eine integrierte Schaltungsanordnung, mit dereine interne Spannung eines Halbleiterchips stabilisierbar ist.
    [0002] ZumBetrieb einer integrierten Schaltung, beispielsweise einer integriertenHalbleiterspeicherschaltung, wird der Speicherchip an ein externesVersorgungspotenzial sowie ein externes Massepotenzial angeschlossen.Im Volllastbetrieb des Speicherbausteins kann es jedoch auf derVersorgungsspannung als auch der Massespannung immer wieder zu Spannungseinbrüchen kommen.Zu solchen Spannungseinbrüchekommt beispielsweise beim Auftreten von Stromspitzen infolge vonKommandos, die an den Halbleiterspeicher angelegt werden. Insbesondere,wenn das Schaltungs-Layout einer integrierten Schaltung nicht denhochfrequenten Anforderungen genügtoder aber die Masseleitungen hoch induktiv sind, ist dieses Problemweit verbreitet.
    [0003] Aufgrunddieser Spannungsschwankungen von extern angelegten Spannungen werdenintegrierte Schaltungen im Allgemeinen intern mit einer stabilisiertenSpannung betrieben. Bisher wurden zur Erzeugung einer stabilisiertenSpannung lineare Regler verwendet, die aus einer extern angelegten, nichtstabilisierten Versorgungsspannung eine stabilisierte interne Spannunggenerieren, mit der die Schaltungskomponenten der integrierten Schaltung betriebenwerden. Unter den linearen Reglern haben Längsregler wegen ihres einfachenAufbaus, insbesondere in integrierter Form, eine große Verbreitung gefun den.Integrierte Regler benötigenjedoch zwischen Eingang und Ausgang, abgesehen von einigen Spezialtypen,eine gewisse Differenzspannung.
    [0004] HeutigeSpeichergenerationen sind, im Verhältnis zu den im Chip verwendetenregulierten und stabilisierten Spannungen, für externe Versorgungsspannungenspezifiziert, die in der Größenordnung derinternen Spannungen liegen. So wird beispielsweise bei zukünftigenDDR-DRAM(=Double Data Rate Dynamic Random Access Memory)-Halbleiterspeicherndie externe Versorgungsspannung bei 1,8 V +/– 0,1 V liegen, der Halbleiterspeicherbausteinjedoch technologieabhängigmit einer internen Spannung von beispielsweise 1,8 V bzw. 1,5 Vbetrieben werden. Durch die nicht vorhandene bzw. sehr geringe Differenzvon externer zu interner Spannung, wird eine Regelung der internenSpannung durch Längsreglerunmöglichbzw. ineffizient.
    [0005] Wennjedoch mit solchen Reglern die interne Spannung einer integriertenSchaltung nicht stabil gehalten werden kann, kommt es vor, dassinterne Spannungsnetze unterhalb ihrer Sollspannung betrieben werden.Bei integrierten Halbleiterspeichern führt dies zu einer gravierendenVerschlechterung der spezifizierten Zeitparameter. Zu den spezifiziertenZeitparametern eines integrierten Halbleiterspeichers gehören beispielsweisedie Vorladezeiten, die erforderlich sind, um Bitleitungen einesSpeicherzellenfeldes auf ein gemeinsames Ausgleichspotenzial vorzuladen.Eine Verschlechterung der internen Zeitparameter infolge eines Unterspannungsbetriebs lässt sichdadurch erklären,dass zur Erzeugung der Zeitparameter im Allgemeinen Transistorkettenbenutzt werden. Wenn die Transistoren einer Transistorkette unterhalbeines bestimmten Sollwertes der Versorgungsspannung betrieben werden, führt dies zueiner Verlangsamung ihres Schaltverhaltens und somit zu einer zeitlichenVerzögerungeines durch sie generierten Vorganges.
    [0006] Nebender Verwendung von linearen Reglern wäre zur Erzeugung einer stabileninternen Versorgungsspannung auch die Verwendung von Ladungspumpendenkbar. Solche Ladungspumpen werden bei integrierten Schaltungeneingesetzt, wenn zum Betrieb von Schaltungskomponenten der integriertenSchaltung Betriebsspannungen benötigt werden,die oberhalb der extern angelegten Versorgungsspannung liegen. Beiintegrierten Halbleiterspeichern wird beispielsweise zur Erzeugungder Wortleitungsspannung, mit der die Auswahltransistoren des Speicherzellenfeldesleitend gesteuert werden, eine Ladungspumpe verwendet, da hier Steuerspannungenerforderlich sind, die deutlich überder extern angelegten Versorgungsspannung liegen. Die Verwendungeiner zusätzlichenLadungspumpe zur stabilen Spannungsversorgung stromintensiver Netzeauf dem Halbleiterspeicherchip ist jedoch aufgrund der spezifiziertenStrombegrenzung nicht realisierbar.
    [0007] DieAufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine integrierte Schaltungsanordnungzur Stabilisierung einer Spannung anzugeben, bei der eine von derintegrierten Schaltungsanordnung erzeugte Ausgangsspannung unabhängig vonSpannungsschwankungen einer extern angelegten Versorgungsspannungweitestgehend stabil gehalten werden kann. Eine weitere Aufgabeder vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mitdem sich aus einer Versorgungsspannung, die Spannungsschwankungenunterworfen sein kann, eine stabile Ausgangsspannung erzeugen lässt.
    [0008] DieAufgabe wird gelöstdurch eine integrierte Schaltungsanordnung zur Stabilisierung einer Spannungmit einem Eingangsanschluss zum Anlegen einer Versorgungsspannungund mit einem Ausgangsanschluss zur Erzeugung einer Ausgangsspannung.Die Schaltungsanordnung umfasst des Weiteren einem ersten steuerbarenWiderstand, dessen Widerstandswert über ein erstes Steuersignal steuerbarist, und einem zweiten steuerbaren Widerstand, dessen Widerstandswert über einzweites Steuersignal steuerbar ist. Sie weist ferner eine Ladungspumpeund eine Steuerschaltung zur Steuerung des ersten und zweiten steuerbarenWiderstands auf. Der Eingangsanschluss zum Anlegen der Versorgungsspannungist überden ersten steuerbaren Widerstand mit dem Ausgangsanschluss zurErzeugung der Ausgangsspannung verbunden. Die Ladungspumpe ist ausgangsseitig über denzweiten steuerbaren Widerstand mit dem Ausgangsanschluss zur Erzeugungder Ausgangsspannung verbunden. Die Steuerschaltung ist schließlich derart ausgebildet,dass sie dem ersten und zweiten steuerbaren Widerstand jeweils daserste und zweite Steuersignal zuführt, mit Hilfe derer das Verhältnis aus denWiderstandswerten des ersten und zweiten steuerbaren Widerstandsin Abhängigkeitvon dem Verhältniseines Istwertes der Versorgungsspannung zu einem Sollwert der Versorgungsspannunggesteuert wird, wodurch die Ausgangsspannung auf einen Sollwertder Ausgangsspannung ausgeregelt wird.
    [0009] Ineiner Weiterbildung der erfindungsgemäßen integrierten Schaltungsanordnungist die Ladungspumpe eingangsseitig mit dem Eingangsanschluss zumAnlegen der Versorgungsspannung verbunden.
    [0010] Nacheinem weiteren Merkmal weist die integrierte Schaltungsanordnungeine erste Vergleicherschaltung mit einem ersten Eingangsanschlusszum Anlegen einer Eingangsspannung und einen zweiten-Eingangsanschlusszum Anlegen einer Referenzspannung auf. Der erste Eingangsanschlussder ersten Vergleicherschaltung ist mit dem Eingangsanschluss zumAnlegen der Versorgungsspannung verbunden und der zweite Eingangsanschlussder ersten Vergleicherschaltung ist mit einem Anschluss zum Anlegendes Sollwertes der Versorgungsspannung verbunden. Die erste Vergleicherschaltungist dabei derart ausgebildet, dass sie ausgangsseitig in Abhängigkeitdes Verhältnisseseines Pegels ihrer Eingangsspannung zu einem Pegel ihrer Referenzspannungein erstes Vergleichssignal erzeugt und einer ersten Eingangsseiteder Steuerschaltung zuführt.
    [0011] Ineiner Weiterbildung umfasst die integrierte Schaltungsanordnungeine zweite Vergleicherschaltung mit einem ersten Eingangsanschlusszum Anlegen einer Eingangsspannung und einem zweiten Eingangsanschlusszum Anlegen einer Referenzspannung. Der erste Eingangsanschlussder zweiten Vergleicherschaltung ist dabei mit dem Ausgangsanschlussverbunden. Der zweite Eingangsanschluss der zweiten Vergleicherschaltungist mit einem Anschluss zum Anlegen des Sollwertes der Ausgangsspannungverbunden. Die zweite Vergleicherschaltung ist derart ausgebildet,dass sie ausgangsseitig in Abhängigkeitdes Verhältnisseseines Pegels ihrer Eingangsspannung zu einem Pegel ihrer Referenzspannungein zweites Vergleichssignal erzeugt und einer zweiten Eingangsseiteder Steuerschaltung zuführt.
    [0012] Ineiner weiteren Ausführungsformder integrierten Schaltungsanordnung umfasst die Steuerschaltungeine Codierungsschaltung. Die Codierungsschaltung ist dabei eingangsseitigmit der ersten und zweiten Eingangsseite der Steuerschaltung verbunden.Die Codierungsschaltung ist derart ausgebildet, dass sie ausgangsseitigein Codierungssignal erzeugt, das von dem Verhältnis des Istwertes der Ausgangsspannungzu dem Sollwert der Ausgangsspannung und von dem Verhältnis desIstwertes der Versorgungsspannung zu dem Sollwert der Versorgungsspannungabhängigist.
    [0013] Ineiner weiteren Ausgestaltung der integrierten Schaltungsanordnungumfasst die Steuerschaltung eine Auswerteschaltung. Der Auswerteschaltungist das Codierungssignal eingangsseitig zuführbar. Die Auswerteschaltungist derart ausgebildet, dass sie in Abhängigkeit vom dem Codierungssignal ausgangsseitigeinen Pegel des ersten Steuersignals und einen Pegel des zweitenSteuersignals erzeugt.
    [0014] DieCodierungsschaltung ist in einer Ausführungsform als ein Pulsweitencodiererausgebildet.
    [0015] Nacheiner Ausgestaltung des Pulsweitencodierers ist dieser derart ausgebildet,dass er während einerPeriodendauer ein erstes Pulssignal mit einem ersten und einem zweitenPegel erzeugt, wobei er währendeiner Zeitdauer den ersten Pegel des ersten Pulssignals erzeugt.Der Pulsweitencodierer ist weiter derart ausgebildet, dass die Zeitdauerdes ersten Pegels des ersten Pulssignals von dem Verhältnis desIstwertes der Ausgangsspannung zu dem Sollwert der Ausgangsspannungabhängigist.
    [0016] Ineiner Weiterbildung der erfindungsgemäßen integrierten Schaltungsanordnungist der Pulsweitencodierer derart ausgebildet, dass er innerhalb derZeitdauer des ersten Pegels des ersten Pulssignals ein zweites Pulssignalmit einem ersten Pegel und einem zweiten Pegel erzeugt, wobei erden ersten Pegel des zweiten Pulssignals während einer Zeitdauer und den zweitenPegel währendeiner Zeitdauer erzeugt. Der Pulsweitencodierer ist derart ausgebildet,dass die Zeitdauer des ersten Pegels des zweiten Pulssignals vomdem Verhältnisdes Istwertes der Versorgungsspannung zu dem Sollwert der Versorgungsspannungabhängigist.
    [0017] Ineiner weiteren Ausführungsformder integrierten Schaltungsanordnung ist der erste Pegel des erstenund zweiten Pulssignals als ein hoher Signalpegel und der zweitePegel des ersten und zweiten Pulssignals als ein niedriger Signalpegelausgebildet.
    [0018] Ineiner Weiterbildung der erfindungsgemäßen integrierten Schaltungsanordnungist der erste steuerbare Widerstand als ein Längstransistor mit einem Steuereingangund der zweite steuerbare Widerstand ebenfalls als ein Längstransistormit einem Steuereingang ausgebildet. Dem Steuereingang des erstenLängstransistorswird das erste Steuersignal zugeführt. Dem Steuereingang deszweiten Längstransistorswird das zweite Steuersignal zugeführt. Die Längstransistoren sind dabeiderart ausgebildet, dass der Widerstandswert einer steuerbaren Strecke desjeweiligen Längstransistorsvon dem ihnen jeweilig zugeführtenPegel des ersten und zweiten Steuersignals abhängig ist.
    [0019] Dieintegrierte Schaltungsanordnung kann des Weiteren ein Speicherzellenfeldmit Speicherzellen aufweisen. Die Speicherzellen umfassen dabei jeweilseinen Auswahltransistor und einen Speicherkondensator. Der Auswahltransistorist durch Ansteuerung mit einer Steuerspannung, deren Spannungswertoberhalb des Wertes der Versorgungsspannung liegt, in den leitendenZustand steuerbar. Die Ladungspumpe ist dazu derart ausgebildet,dass sie aus der ihr eingangsseitig zugeführten Versorgungsspannung ausgangsseitigdie Steuerspannung zum leitend Steuern der Auswahltransistoren desSpeicherzellenfeldes erzeugt.
    [0020] Esbraucht daher nicht eine zusätzlicheLadungspumpe zur Stabilisierung der Ausgangsspannung vorgesehenwerden. Stattdessen wird die Ladungspumpe, die bisher zur Erzeugungder Steuerspannung der Auswahltransistoren verwendet wurde, in dieerfindungsgemäße integrierteSchaltungsanordnung integriert.
    [0021] Nacheinem weiteren Merkmal der integrierten Schaltungsanordnung istder Sollwert der Ausgangsspannung als ein Spannungspegel des Speicherzellenfeldesausgebildet.
    [0022] ImFolgenden wird ein Verfahren zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung beschrieben. Dabei wird ein Istwerteiner Ausgangsspannung einer integrierten Schaltung ermittelt. Ebensowird auch ein Sollwert der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungermittelt. Der Istwert der Ausgangsspannung wird mit dem Sollwert derAusgangsspannung der integrierten Schaltung verglichen. Neben denSpannungswerten der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungwird auch ein Istwert einer Versorgungsspannung der integriertenSchaltung und ein Sollwert der Versorgungsspannung der integriertenSchaltung ermittelt. Der Istwert der Versorgungsspannung wird mitdem Sollwert der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung verglichen.Nachdem die beiden Vergleiche durchgeführt worden sind, wird ein erstesSteuersignal durch eine Steuerschaltung in Abhängigkeit von dem Vergleichdes Istwertes der Ausgangsspannung mit dem Sollwert der Ausgangsspannungder integrierten Schaltung und dem Vergleich des Istwertes der Versorgungsspannungmit dem Sollwert der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung erzeugt. Anschließend wirdein Steueranschluss eines ersten Längstransistors, der zwischeneinen Eingangsanschluss der integrierten Schaltung zum Anlegen der Versorgungsspannungund einen Ausgangsanschluss der integrierten Schaltung zur Erzeugungder Ausgangsspannung geschaltet ist, mit dem ersten Steuersignalangesteuert. Dadurch lässtsich der Widerstand einer steuerbaren Strecke des ersten Längstransistorsin Abhängigkeitvon dem ersten Steuersignal verändern.Anschließendwird ein zweites Steuersignal durch die Steuerschaltung in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes der Ausgangsspannung mit dem Sollwertder Ausgangsspannung der integrierten Schaltung und dem Vergleichdes Istwertes der Versorgungsspannung mit dem Sollwert der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung erzeugt. Danach wird ein Steueranschlusseines zweiten Längstransistors,der zwischen einen Ausgangsanschluss einer Ladungspumpe und denAusgangsanschluss der integrierten Schaltung geschaltet ist, mitdem zweiten Steuersignal angesteuert. Dadurch lässt sich der Widerstand einersteuerbaren Strecke des ersten Längstransistorsin Abhängigkeitvon dem ersten Steuersignal verändern.
    [0023] Nacheinem weiteren Konzept des Verfahrens zur Stabilisierung einer internenSpannung einer integrierten Schaltung wird ein erstes Vergleichssignaldurch eine erste Vergleicherschaltung in Abhängigkeit von dem Vergleichdes Istwertes der Versorgungsspannung mit dem Sollwert der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung erzeugt. Ein zweites Vergleichssignalwird durch eine zweite Vergleicherschaltung in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes der Ausgangsspannung mit dem Sollwertder Ausgangsspannung der integrierten Schaltung erzeugt. Daraufhinwird ein erstes Pulssignal mit einem hohen und einem niedrigen Pegelerzeugt, wobei der hohe Pegel des ersten Pulssignals während einerZeitdauer erzeugt wird und die Zeitdauer des hohen Pegels des erstenPulsignals von einem Verhältnisdes Istwertes der Ausgangsspannung zu dem Sollwert der Ausgangsspannungder integrierten Schaltung abhängigist. Ein zweites Pulssignal wird mit einem hohen und einem niedrigenPegel innerhalb der Zeitdauer des hohen Pegels des ersten Pulssignalserzeugt, wobei der hohe Pegel des zweiten Pulssignals während einerZeitdauer erzeugt wird und die Zeitdauer des hohen Pegels des zweiten Pulssignalsvon einem Verhältnisdes Istwertes der Versorgungsspannung zu dem Sollwert der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung abhängig ist.
    [0024] Gemäß einerWeiterbildung des Verfahrens zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung wird die Zeitdauer des ersten Pegelsdes ersten Pulssignals verlängert,wenn das Verhältnisaus dem Istwert der Ausgangsspannung zu dem Sollwert der Ausgangsspannungder integrierten Schaltung abnimmt. Die Zeitdauer des ersten Pegelsdes ersten Pulssignals wird verkürzt, wenndas Verhältnisaus dem Istwert der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungzu dem Sollwert der Ausgangsspannung der integrierten Schaltung zunimmt.Anschließendwird der Widerstand der steuerbaren Strecke des ersten Längstransistorsin Abhängigkeitvon der Verlängerungder Zeitdauer des ersten Pegels des ersten Pulssignals erniedrigt. Umgekehrtwird der Widerstand der steuerbaren Strecke des ersten Längstransistorsin Abhängigkeit vonder Verkürzungder Zeitdauer des ersten Pegels des ersten Pulssignals erhöht.
    [0025] Nacheiner weiteren Form des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Stabilisierungeiner internen Spannung einer integrierten Schaltung wird die Zeitdauerdes ersten Pegels des zweiten Pulssignals verlängert, wenn das Verhältnis ausdem Istwert der Versorgungsspannung zu dem Sollwert der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung abnimmt. Die Zeitdauer des ersten Pegelsdes zweiten Pulssignals wird verkürzt, wenn das Verhältnis ausdem Istwert der Versorgungsspannung zu dem Sollwert der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung zunimmt. Daraufhin wird der Widerstandder steuerbaren Strecke des zweiten Längstransistors in Abhängigkeitvon der Verlängerungder Zeitdauer des ersten Pegels des zweiten Pulssignals erniedrigt.Umgekehrt wird der Widerstand der steuerbaren Strecke des zweitenLängstransistorsin Abhängigkeitvon der Verkürzungder Zeitdauer des ersten Pegels des zweiten Pulssignals erhöht.
    [0026] Mitdem erfindungsgemäßen Verfahrenwird es somit ermöglicht,einen Sollwert einer Ausgangsspannung der integrierten Schaltungzu gewährleisten.Die Ausgangsspannung kann beispielsweise als eine interne Versorgungsspannungeines internen Netzes der integrierten Schaltung dienen. Die stabile Ausgangsspannungwird dabei direkt aus einer extern angelegten Versorgungsspannungoder zusätzlich über eineLadungspumpe erzeugt. Die Ladungspumpe wird dazu vorzugsweise nuraktiviert, wenn die extern angelegte Versorgungsspannung unter denvorgegebenen Sollwert abfällt.Ein zusätzlicher Stromverbrauchdurch die Ladungspumpe wird daher weitestgehend vermieden. Er trittnur dann auf, wenn die externe Versorgungsspannung aufgrund vonSpannungsschwankungen unterhalb des Sollwertes abfällt.
    [0027] DieErfindung wird im Folgenden anhand von Figuren, die Ausführungsbeispieleder Erfindung zeigen, nähererläutert.Es zeigen:
    [0028] 1 eineAusführungsformeiner integrierten Schaltung zur Stabilisierung einer Ausgangsspannunggemäß der Erfindung,
    [0029] 2 eineerste Ausführungeines pulsweitenmodulierten Signals, mit dem eine Ausgangsspannungeiner integrierten Schaltung gemäß der Erfindungstabil gehalten werden kann,
    [0030] 3 einezweite Ausführungeines pulsweitenmodulierten Signals, mit dem eine Ausgangsspannungeiner integrierten Schaltung gemäß der Erfindungstabil gehalten werden kann,
    [0031] 4 Spannungsbereicheeiner extern angelegten Versorgungsspannung, in denen LängstransistorenT1 und T2 zur Erzeugung einer stabilen Ausgangsspannung gemäß der Erfindungaktiviert werden.
    [0032] 1 zeigteine Ausführungsformeiner integrierten Schaltung, die insbesondere innerhalb eines integriertenHalbleiterspeichers dazu verwendet werden kann, aus einer externangelegten Versorgungsspannung eine stabile Ausgangsspannung zuerzeugen. Die stabile Ausgangsspannung kann insbesondere als einestabile interne Versorgungsspannung benutzt werden, mit der weitereSchaltungskomponenten der integrierten Schaltung betrieben werden.
    [0033] Derintegrierte Halbleiterspeicher 100 umfasst einen EingangsanschlussIN zum Anlegen einer externen Versorgungsspannung Vext, die gewöhnlich Spannungsschwankungenunterworfen ist. Über einensteuerbaren Widerstand T1, der in 1 beipielsweiseals ein Längstransistorausgebildet ist, ist der Eingangsanschluss IN der integrierten Schaltung miteinem Ausgangsanschluss A zur Erzeugung einer Ausgangsspannung Vout verbunden.Die integrierte Schaltung umfasst des Weiteren eine Ladungspumpe 10 miteinem Pumpkondensator CP. Übereinen Eingangsanschluss E10a der Ladungspumpe ist der EingangsanschlussIN zum Anlegen der Versorgungsspannung mit der Ladungspumpe 10 verbunden.Ein Ausgangsanschluss A10a verbindet die Ladungspumpe ausgangsseitig über einen steuerbarenWiderstand T2, der in 1 beispielsweise als ein Längstransistorausgebildet ist, mit dem Ausgangsanschluss A der integrierten Schaltung. DieLadungspumpe 10 pumpt die ihr über den Eingangsanschluss INder integrierten Schaltung zur Verfügung gestellte Ladungsmengeauf einen Pumpkondensator CP und erzeugt somit eine PumpspannungVPP, die oberhalb der extern angelegten Versorgungsspannung Vextliegt.
    [0034] Derintegrierte Halbleiterspeicher enthält darüber hinaus ein Speicherzellenfeld 50,dem die Ausgangsspannung Vout der integrierten Schaltung über denAusgangsanschluss A und die Pumpspannung VPP über den Ausgangsanschluss A10ader Ladungspumpe 10 zur Verfügung gestellt wird. Das Speicherzellenfeldumfasst Speicherzellen SZ, die an Kreuzungspunkten jeweils einerBitleitung mit jeweils einer Wortleitung WL angeordnet sind. Aus Gründen derbesseren Übersichtist innerhalb des Speicherzellenfeldes 50 nur eine SpeicherzelleSZ dargestellt. Die Speicherzelle SZ ist beispielsweise als eineDRAM-Speicherzelle ausgebildet und umfasst einen AuswahltransistorAT und einen Speicherkondensator SC. Eine erste Elektrode des SpeicherkondensatorsSC ist übereine steuerbare Strecke des Auswahltransistors AT mit der BitleitungBL verbunden. Eine zweite Elektrode des Speicherkondensators SCist mit einem Anschluss M zum Anlegen eines Bezugspotenzials verbunden.Um den Auswahltransistor AT in den leitfähigen Zustand zu schalten,wird einem Steueranschluss des Auswahltransistors über dieWortleitung WL die Pumpspannung VPP zu geführt. Das Speicherzellenfeld 50 lässt sichvereinfacht durch einen Kondensator CL50 darstellen, der den AusgangsanschlussA zum Erzeugen der Ausgangsspannung Vout belastet.
    [0035] Dieintegrierte Schaltung umfasst des Weiteren eine erste Vergleicherschaltung 30 miteinem ersten Eingangsanschluss E30a zum Anlegen einer EingangsspannungVein1 und einen zweiten Eingangsanschluss E30b zum Anlegen einerReferenzspannung Vref1. Der erste Eingangsanschluss E30a der erstenVergleicherschaltung 30 ist mit dem Eingangsanschluss INzum Anlegen der externen Versorgungsspannung Vext verbunden. Derzweite Eingangsanschluss E30b der ersten Vergleicherschaltung istmit einem Anschluss AVS1 zum Anlegen eines Sollwertes VSext derVersorgungsspannung verbunden. Die erste Vergleicherschaltung 30 erzeugt ausgangsseitigein erstes Vergleichssignal VS1.
    [0036] Dieintegrierte Schaltung umfasst weiter eine zweite Vergleicherschaltung 40 miteinem ersten Eingangsanschluss E40a zum Anlegen einer EingangsspannungVein2 und einen zweiten Eingangsanschluss E40b zum Anlegen einerReferenzspannung Vref2. Der erste Eingangsanschluss E40a der zweitenVergleicherschaltung 40 ist mit dem Ausgangsanschluss Ader integrierten Schaltung verbunden. Der zweite EingangsanschlussE40b der zweiten Vergleicherschaltung 40 ist mit einemAnschluss AVS2 zum Anlegen eines Sollwertes VSout der Ausgangsspannungverbunden. Die zweite Vergleicherschaltung 40 erzeugt ausgangsseitigein zweites Vergleichssignal VS2.
    [0037] Dieintegrierte Schaltung weist ferner eine Steuerschaltung 20 miteiner ersten Eingangsseite E20a auf, der das erste VergleichssignalVS1 der ersten Vergleicherschaltung 30 zuführbar ist,und eine zweite Eingangsseite E20b, der das zweite VergleichssignalVS2 der zweiten Vergleicherschaltung 40 zuführbar ist.Die Steuerschaltung 20 umfasst eine Codierungsschaltung 21 undeine Auswerteschaltung 22. Die Codierungsschaltung 21,die beispielsweise als ein Pulsweitenmodulator ausgebildet ist,führt derAuswerteschaltung 22 eingangsseitig ein CodierungssignalCS zu. Die Auswerteschaltung 22 erzeugt ausgangsseitigein erstes Steuersignal S1, das sie einem Steueranschluss ST1 desersten LängstransistorsT1 zuführt.Des Weiteren erzeugt sie ausgangsseitig ein zweites SteuersignalS2, das sie einem Steueranschluss ST2 des zweiten LängstransistorsT2 zuführt.
    [0038] ImFolgenden wird die Funktionsweise der integrierten Schaltung zurErzeugung der stabilen Ausgangsspannung Vout beschrieben. Die ersteVergleicherschaltung 30 vergleicht die am EingangsanschlussIN anliegende externe Versorgungsspannung Vext mit dem am AnschlussAVS1 angelegten Sollwert VSext der Versorgungsspannung. Abhängig vomVerhältnisdes Istwertes Vext zum Sollwert VSext der Versorgungsspannung erzeugtdie erste Vergleicherschaltung 30 das erste Vergleichssignal VS1,das sie der Codierungsschaltung 21 der Steuerschaltung 20 zuführt. Diezweite Vergleicherschaltung 40 vergleicht, die am AusgangsanschlussA erzeugte Ausgangsspannung Vout mit dem am Anschluss AVS2 angelegtenSollwert VSout der Ausgangsspannung. Abhängig von dem Verhältnis des Istwertesder Ausgangsspannung Vout zum Sollwert VSout der Ausgangsspannungerzeugt die zweite Vergleicherschaltung 40 das zweite Vergleichssignal VS2,das sie der Codierungsschaltung 21 der Steuerschaltung 20 zuführt. DieCodierungsschaltung 21 erzeugt in Abhängigkeit von den ihr eingangsseitigzugeführtenersten und zweiten Vergleichssignalen VS1 und VS2 ein pulsweitenmoduliertesCodierungssignal CS, das sie der Auswerteschaltung 22 zuführt. DieAuswerteschaltung 22 wertet das Co dierungssignal CS ausund erzeugt danach das erste Steuersignal S1 und das zweite SteuersignalS2. Je nach Ansteuerung der Steueranschlüsse ST1 und ST2 der LängstransistorenT1 und T2 mit dem ersten bzw. zweiten Steuersignal S1 und S2 ändert sichder Widerstand der steuerbaren Strecke des ersten LängstransistorsT1 bzw. des zweiten LängstransistorsT2. Dadurch wird der Ausgangsanschluss A zur Erzeugung der AusgangsspannungVout höher-oder niederohmiger mit dem Eingangsanschluss IN zum Anlegen desexternen Versorgungspotenzials Vext bzw. mit dem AusgangsanschlussA10a der Ladungspumpe 10 verbunden. Zur Erläuterungder erfindungsgemäßen Ansteuerungder LängstransistorenT1 und T2 mit dem ersten und zweiten Steuersignal S1 und S2 zurErzeugung der stabilen Ausgangsspannung Vout wird auf die 2, 3 und 4 verwiesen.
    [0039] 2 zeigtein erstes Pulssignal PS1 des pulsweitenmodulierten CodierungssignalsCS. Das erste Pulssignal PS1 hat die Periodendauer T und nimmt innerhalbder Periodendauer T währendeiner Zeitdauer THP1 einen hohen Signalpegel P1 und für die restlicheZeitdauer der Periodendauer T einen niedrigen Signalpegel P2 an.Da das zweite Vergleichssignal VS2 abhängig ist vom Verhältnis des IstwertesVout zu dem Sollwert VSout der Ausgangsspannung, lässt sichanhand eines Pegels des zweiten Vergleichssignals VS2 feststellen,ob die Ausgangsspannung Vout zu- oder abnimmt. Wenn das Verhältnis ausdem Istwert Vout zum Sollwert VSout der Ausgangsspannung abnimmt,so folgt daraus eine Abnahme der Ausgangsspannung Vout im Vergleichzum vorgegebenen Sollwert VSout der Ausgangsspannung. In diesemFall vergrößert dieCodierungsschaltung 21 die Zeitdauer THP1 des ersten Pulssignals.Wenn das Verhältnisaus dem Istwert Vout zu dem Sollwert VSout der Ausgangsspannung zunimmt,so nähertsich der Istwert der Ausgangsspannung wieder mehr dem Sollwert derAusgangsspannung.
    [0040] Indiesem Fall verkleinert. die Codierungsschaltung 21 dieZeitdauer THP1 des hohen Signalpegels des ersten Pulssignals biszu einer bestimmten Grenze. Die Grenze bestimmt eine minimale zeitlichePulsbreite THP1, bei der der Istwert der Ausgangsspannung Vout geradedem Sollwert VSout entspricht. An der zeitlichen Pulsbreite THP1des hohen Signalpegels des ersten Pulssignals PS1 lässt sichsomit feststellen, um welchen Betrag der augenblickliche Pegel derAusgangsspannung Vout unterhalb des Sollwertes VSout der Ausgangsspannung liegt.
    [0041] 3 zeigtdas erste Pulssignal PS1 und ein zweites Pulssignal PS2, die zusammeneine weitere Form des Codierungssignals CS bilden. Die Codierungsschaltung 21 verändert dabeidie Zeitdauer THP1, währendder das erste Pulssignal den hohen Signalpegel P1 annimmt, wiederauf die in 2 erläuterte Weise, indem sie daszweite Vergleichssignal VS2 der Vergleicherschaltung 40 auswertet.Zusätzlichzu dem zweiten Vergleichssignal VS2 wertet sie nun auch das ersteVergleichssignal VS1 aus. Das erste Vergleichssignal VS1 ist abhängig vom Verhältnis desIstwertes Vext zum Sollwert VSext der Versorgungsspannung. Wenndas Verhältnisaus dem Istwert Vext zum Sollwert VSext der Versorgungsspannungabnimmt, so lässtsich auf eine Abnahme der externen Versorgungsspannung unterhalbdes vorgegebenen Sollwertes der Versorgungspannung schließen. DieseInformation, die im ersten Vergleichssignal VS1 der Vergleicherschaltung 30 enthaltenist, wird von der Codierungsschaltung 21 in der Weise ausgewertet,dass sie die Zeitdauer THP2, währendder das zweite Pulssignal PS2 den hohen Signalpegel P1 annimmt,vergrößert. Wenndas Verhältnisaus dem Istwert Vext zum Sollwert VSext der Versorgungsspannungwieder zunimmt, so nähert sichder Pegel des Istwertes der Versorgungsspannung Vext wieder demvorgegebenen Sollwert VSext. Die Codierungsschaltung 21 verkleinertin diesem Fall die Zeitdauer THP2, während der das zweite PulssignalPS2 den hohen Signalpegel P1 annimmt. Die Auswerteschaltung wertetdie zeitliche Pulsbreite THP1 des ersten Pulssignals und die zeitlichePulsbreite THP2 des zweiten Pulssignals aus und erzeugt ausgangsseitigdas erste Steuersignal S1 und das zweite Steuersignal S2.
    [0042] 4 zeigt,wie die LängstransistorenT1 und T2 in Abhängigkeitvon Schwankungen der externen Versorgungsspannung über dieersten und zweiten Steuersignale S1 und S2 angesteuert werden. Wenndie externe Versorgungsspannung Vext oberhalb eines ersten SchwellwertesVext1, der gleichzeitig den Sollwert VSext der externen Versorgungsspannungdarstellt, liegt, so lässtsich die gewünschteAusgangsspannung Vout überdie Ansteuerung des LängstransistorsT1 regeln. Wenn die externe Versorgungsspannung unterhalb des SollwertesVSext der externen Versorgungsspannung abfällt, so wird das gewünschte Potenzialder Ausgangsspannung Vout erzeugt, indem zusätzlich zum LängstransistorT1 auch der LängstransistorT2 in den leitenden Zustand geschaltet wird. Die AusgangsspannungVout wird daher überdie externe Versorgungsspannung Vext, als auch über die Ladungspumpe 10 generiert.Je weiter die externe Versorgungsspannung abnimmt, desto größer wirddie Zeitdauer THP2 des zweiten Pulssignals in 3. Dadurchwird der LängstransistorT2 zunehmend niederohmiger gesteuert, während der Längstransistor T1 immer hochohmigerwird. Der Anteil des von der Ladungspumpe 10 bereitgestelltenSpannungsanteils zur Ausgangsspannung Vout steigt also im Vergleichzu dem von der externen Versorgungsspannung Vext bereitgestelltenSpannungsanteil an. Wenn die externe Versorgungsspannung auf den WertVext2 abgefallen ist, so wird die gewünschte Ausgangsspannung nichtmehr aus der extern ange legten Versorgungsspannung Vext generiert.Die Zeitdauer THP2, währendder das zweite Pulssignal den hohen Signalpegel P1 annimmt, istin diesem Fall auf die Zeitdauer THP1, während der das erste Pulssignalden hohen Signalpegel P1 annimmt, angewachsen. Dies hat zur Folge,dass der LängstransistorT1 gesperrt betrieben wird, währendder LängstransistorT2 sehr niederohmig gesteuert wird. Die Ausgangsspannung Vout derintegrierten Schaltung wird somit ausschließlich von der Ladungspumpe 10 generiert.Dadurch, dass der Längstransistor T1in diesem Fall gesperrt betrieben wird, kann sich das am AusgangsanschlussA der integrierten Schaltung angeschlossene interne Spannungsnetznicht überden LängstransistorT1 zum Eingangsanschluss IN hin entladen. Die Schwelle Vext2, beider der LängstransistorT1 gesperrt betrieben wird, liegt somit knapp oberhalb des SollwertesVSout der gewünschtenAusgangsspannung der integrierten Schaltung.
    [0043] Umden Anteil der von der externen Versorgungsspannung Vext zum AusgangsspannungspotenzialVout gelieferten Spannungsanteil bzw. den dazu von der Ladungspumpe 10 geliefertenSpannungsanteil zu verändern,werden die steuerbaren Strecken der Längstransistoren höher bzw.niederohmiger gesteuert. Wenn der Anteil des von der externen Versorgungsspannunggelieferten Spannungsanteils vergrößert werden soll, so wird diesteuerbare Strecke des ersten LängstransistorsT1 entsprechend niederohmiger gesteuert. Wenn hingegen der Spannungsanteil,der von der externen Versorgungsspannung zum gewünschten Ausgangsspannungspotenzialgeliefert wird, erniedrigt werden soll und entsprechend der Spannungsanteilder von der Ladungspumpe 10 geliefert wird, erhöht werdensoll, so wird die steuerbare Strecke des ersten LängstransistorsT1 hochohmiger gesteuert und die steuerbare Strecke des zweitenLängstransisitorsT2 entsprechend niederohmiger gesteuert.
    [0044] Dazubesteht die Möglichkeitden Signalpegel des ersten und zweiten Steuersignals zu erhöhen, wodurchdie steuerbare Strecke des betreffende Längstransistors, beispielsweiseeines n-Kanal-MOSFET-Transistors, entsprechend niederohmiger gesteuertwird. Umgekehrt wird die steuerbare Strecke eines n-Kanal-MOSFET-Transistorsentsprechend hochohmiger, wenn der Signalpegel des ansteuerndenSteuersignals erniedrigt wird.
    [0045] Eineandere Möglichkeitzur Steuerung der Widerständeder steuerbaren Strecken der Längstransistorenbesteht darin, die Längstransistorengepulst zu betreiben. Je größer diezeitliche Pulsbreite des Steuersignals innerhalb der PeriodendauerT ist, desto niederohmiger wird der Widerstand der zugehörigen steuerbarenStrecke. Es muss jedoch dafür Sorgegetragen werden, dass eine Beeinflussung der Ausgangsspannung Voutdurch das digitale Durchschalten der Längstransistoren verhindertwird, da es ansonsten zu einem schlechten Regelverhalten kommenkann. Der Widerstand der steuerbaren Strecke der LängstransistorenT1 und T2 bildet mit der relativ großen zu ladenden Kapazität CL50 desSpeicherzellenfeldes 50 einen Tiefpass. Die augenblickliche Spannungan der Kapazität ändert sichsomit also nicht abrupt. Fürein gutes asymptotisches Regelverhalten muss das Verhältnis derPeriodendauer T des digitalen Ansteuerungspulses am Steueranschluss derLängstransistorenzur Tiefpass-Grenzfrequenz geeignet gewählt werden.
    [0046] Dadie Transistorverluste bei einem gepulst betriebenen Transistordeutlich geringer sind als bei einem Betrieb in einem analogen festenArbeitspunkt, zumindest solange die Periodendauer T des Ansteuerungspulsesnicht zu klein wird, ist das gepulste Ansteuern der Längstransistorenzur Veränderungder Widerständeihrer steuerbaren Strecken der Ansteuerung der Transistoren in einemfesten analogen Arbeitspunkt mit unterschiedlichen Signalpegeln zurVeränderungder Widerständeihrer steuerbaren Strecken vorzuziehen.
    10 Ladungspumpe 20 Steuerschaltung 21 Codierungsschaltung 22 Auswerteschaltung 30,40 Vergleicherschaltung 50 Speicherzellenfeld 100 integrierterHalbleiterspeicher A Ausgangsanschlusszum Erzeugen einer Ausgangsspan nung AT Auswahltransistor AVS Anschlussder Vergleicherschaltungen BL Bitleitung CL50 Lastkapazität des Speicherzellenfeldes CP Pumpkapazität CS Codierungssignal E Eingangsanschluss IN Eingangsanschlusszum Anlegen eines Versorgungspo tenzials M Bezugspotenzialanschluss PS Pulssignal S Steuersignal SC Speicherkondensator ST Steueranschluss SZ Speicherzelle T Periodendauer T1,T2 Längstransistor TH Pulsdauermit einem hohen Pegel TL Pulsdauermit einem niedrigen Pegel Vein Eingangsspannung Vext externesVersorgungspotenzial Vout Ausgangsspannung Vref Referenzspannung VS Vergleichssignal VSext Sollwertdes externen Versorgungspotenzials VSout Sollwertder Ausgangsspannung WL Wortleitung
    权利要求:
    Claims (17)
    [1] Integrierte Schaltungsanordnung zur Stabilisierungeiner Spannung, – miteinem Eingangsanschluss (IN) zum Anlegen einer Versorgungsspannung(Vext), – miteinem Ausgangsanschluss (A) zur Erzeugung einer Ausgangsspannung(VOUT), – miteinem ersten steuerbaren Widerstand (T1), dessen Widerstandswert über einerstes Steuersignal (S1) steuerbar ist, – mit einem zweiten steuerbarenWiderstand (T2), dessen Widerstandswert über ein zweites Steuersignal(S2) steuerbar ist, – miteiner Ladungspumpe (10), – mit einer Steuerschaltung(20) zur Steuerung des ersten und zweiten steuerbaren Widerstands(T1, T2), – beider der Eingangsanschluss (IN) zum Anlegen der Versorgungsspannung(Vext) überden ersten steuerbaren Widerstand (T1) mit dem Ausgangsanschluss(A) zur Erzeugung der Ausgangsspannung (Vout) verbunden ist, – bei derdie Ladungspumpe ausgangsseitig (A10a) über den zweiten steuerbarenWiderstand (T2) mit dem Ausgangsanschluss (A) zur Erzeugung derAusgangsspannung (Vout) verbunden ist, – bei der die Steuerschaltung(10) derart ausgebildet ist, dass sie dem ersten und zweitensteuerbaren Widerstand jeweils das erste und zweite Steuersignal (S1,S2) zuführt,mit Hilfe derer das Verhältnisaus den Widerstandswerten des ersten und zweiten steuerbaren Widerstandsin Abhängigkeitvon dem Verhältniseines Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung zu einem Sollwert(VSext) der Versorgungsspannung gesteuert wird, wodurch die Ausgangsspannung(Vout) auf einen Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung ausgeregeltwird.
    [2] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 1,bei der die Ladungspumpe (10) eingangsseitig (E10a) mitdem Eingangsanschluss (IN) zum Anlegen der Versorgungsspannung (Vext)verbunden ist.
    [3] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 oder2, – miteiner ersten Vergleicherschaltung (30) mit einem erstenEingangsanschluss (E30a) zum Anlegen einer Eingangsspannung (Vein1)und einem zweiten Eingangsanschluss (E30b) zum Anlegen einer Referenzspannung(Vref1), – beider der erste Eingangsanschluss (E30a) der ersten Vergleicherschaltung(30) mit dem Eingangsanschluss (IN) zum Anlegen der Versorgungsspannung(Vext) verbunden ist und der zweite Eingangsanschluss (E30b) derersten Vergleicherschaltung mit einem Anschluss (AVS1) zum Anlegendes Sollwertes (VSext) der Versorgungsspannung verbunden ist, – bei derdie erste Vergleicherschaltung derart ausgebildet ist, dass sieausgangsseitig in Abhängigkeit desVerhältnisseseines Pegels ihrer Eingangsspannung (Vein) zu einem Pegel ihrerReferenzspannung (Vref1) ein erstes Vergleichssignal (VS1) erzeugtund einer ersten Eingangsseite (E20a) der Steuerschaltung (20)zuführt.
    [4] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis3, – miteiner zweiten Vergleicherschaltung (40) mit einem erstenEingangsanschluss (E40a) zum Anlegen einer Eingangsspannung (Vein2)und einem zweiten Eingangsanschluss (E40b) zum Anlegen einer Referenzspannung(Vref2), – beider der erste Eingangsanschluss (E40a) der zweiten Vergleicherschaltung(40) mit dem Ausgangsanschluss (A) ver bunden ist und derzweite Eingangsanschluss (E40b) der zweiten Vergleicherschaltungmit einem Anschluss (AVS2) zum Anlegen des Sollwertes (VSout) derAusgangsspannung verbunden ist, – bei der die zweite Vergleicherschaltungderart ausgebildet ist, dass sie ausgangsseitig in Abhängigkeit desVerhältnisseseines Pegels ihrer Eingangsspannung (Vein2) zu einem Pegel ihrerReferenzspannung (Vref2) ein zweites Vergleichssignal (VS2) erzeugtund einer zweiten Eingangsseite (E20b) der Steuerschaltung (20)zuführt.
    [5] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis4, – beider die Steuerschaltung (20) eine Codierungsschaltung (21)umfasst, – beider die Codierungsschaltung (21) eingangsseitig mit derersten und zweiten Eingangsseite (E20a, E20b) der Steuerschaltung(20) verbunden ist, – bei der die Codierungsschaltung(21) derart ausgebildet ist, dass sie ausgangsseitig einCodierungssignal (CS) erzeugt, das von dem Verhältnis des Istwertes (Vout)der Ausgangsspannung zu dem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannungund von dem Verhältnisdes Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung zu dem Sollwert (VSext)der Versorgungsspannung abhängigist.
    [6] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 5, – bei derdie Steuerschaltung (20) eine Auswerteschaltung (22)umfasst, – beider der Auswerteschaltung (22) eingangsseitig das Codierungssignal(CS) zuführbarist, – beider die Auswerteschaltung (22) derart ausgebildet ist,dass sie in Abhängigkeitvom dem Codierungssignal (CS) ausgangsseitig einen Pegel des erstenSteuersignals (S1) und einen Pegel des zweiten Steuersignals (S2)erzeugt.
    [7] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 5 oder6, – beider die Codierungsschaltung als ein Pulsweitencodierer (21)ausgebildet ist.
    [8] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 7, – bei derder Pulsweitencodierer (21) derart ausgebildet ist, dasser währendeiner Periodendauer (T) ein erstes Pulssignal (PS1) mit einem erstenund einem zweiten Pegel (P1, P2) erzeugt, wobei er den ersten Pegeldes ersten Pulssignals währendeiner Zeitdauer (THP1) erzeugt, – bei der der Pulsweitencodierer(21) derart ausgebildet ist, dass die Zeitdauer (THP1)des ersten Pegels des ersten Pulssignals von dem Verhältnis desIstwertes (Vout) der Ausgangsspannung zu dem Sollwert (VSout) derAusgangsspannung abhängigist.
    [9] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 8, – bei derder Pulsweitencodierer (21) derart ausgebildet ist, dasser innerhalb der Zeitdauer des ersten Pegels des ersten Pulssignalsein zweites Pulssignal (PS2) mit einem ersten Pegel (P1) und einemzweiten Pegel (P2) erzeugt, wobei er den ersten Pegel des zweitenPulssignals währendeiner Zeitdauer (THP2) und den zweiten Pegel während einer Zeitdauer (TLP2)erzeugt, – beider der Pulsweitencodierer (21) derart ausgebildet ist,dass die Zeitdauer (THP2) des ersten Pegels des zweiten Pulssignalsvon dem Verhältnisdes Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung zu dem Sollwert (VSext)der Versorgungsspannung abhängigist.
    [10] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 9, – bei derder erste Pegel (P1) des ersten und zweiten Pulssignals (PS1, PS2)als ein hoher Signalpegel ausgebildet ist, – bei der der zweite Pegel(P2) des ersten und zweiten Pulssignals (PS1, PS2) als ein niedrigerSignalpegel ausgebildet ist.
    [11] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis10, – beider der erste steuerbare Widerstand als ein Längstransistor (T1) mit einemSteuereingang (ST1) ausgebildet ist, – bei der der zweite steuerbareWiderstand als ein Längstransistor(T2) mit einem Steuereingang (ST2) ausgebildet ist, – bei derdem Steuereingang (ST1) des ersten Längstransistors (T1) das ersteSteuersignal (S1) zugeführtwird, – beider dem Steuereingang (ST2) des zweiten Längstransistors (T2) das zweiteSteuersignal (S2) zugeführtwird, – beider die Längstransistoren(T1, T2) derart ausgebildet sind, dass der Widerstandswert einersteuerbaren Strecke des jeweiligen Längstransistors von dem ihnenjeweilig zugeführtenPegel des ersten und zweiten Steuersignals (S1, S2) abhängig ist.
    [12] Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis11, – miteinem Speicherzellenfeld (50) mit Speicherzellen (SZ), – bei derdie Speicherzellen (SZ) jeweils einen Auswahltransistor (AT) undeinen Speicherkondensator (SC) umfassen, – bei der der Auswahltransistordurch Ansteuerung mit einer Steuerspannung (VPP), deren Spannungswertoberhalb des Wertes der Versorgungsspannung (Vext) liegt, in denleitenden Zustand steuerbar ist, – bei der die Ladungspumpederart ausgebildet ist, dass sie aus der ihr eingangsseitig (E10a)zugeführtenVersorgungsspannung (Vext) ausgangsseitig (A10a) die Steuerspannung(VPP) zum leitend Steuern der Auswahltransistoren (AT) des Speicherzellenfeldes(50) erzeugt.
    [13] Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 12, – bei derder Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung als ein Spannungspegeldes Speicherzellenfeldes (50) ausgebildet ist.
    [14] Verfahren zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung, umfassend die folgenden Schritte: – Ermittelneines Istwertes (Vout) einer Ausgangsspannung einer integriertenSchaltung, – Ermittelneines Sollwertes (VSout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltung, – Vergleichendes Istwertes (Vout) der Ausgangsspannung mit dem Sollwert (VSout)der Ausgangsspannung der integrierten Schaltung, – Ermittelneines Istwertes (Vext) einer Versorgungsspannung der integriertenSchaltung, – Ermittelneines Sollwertes (VSext) der Versorgungsspannung der integriertenSchaltung, – Vergleichendes Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung mit dem Sollwert (VSext)der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung, – Erzeugeneines ersten Steuersignals (S1) durch eine Steuerschaltung (20)in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes (Vout) der Ausgangsspannung mitdem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungund dem Vergleich des Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung mit demSollwert (VSext) der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung, – Ansteuerneines Steueranschlusses (ST1) eines ersten Längstransistors (T1), der zwischeneinen Eingangsanschluss (IN) der integrierten Schaltung zum Anlegender Versorgungsspannung (Vext) und einen Ausgangsanschluss (A) derintegrierten Schaltung zur Erzeugung der Ausgangsspannung (Vout) geschaltetist, mit dem ersten Steuersignal (S1), – Verändern des Widerstandes einersteuerbaren Strecke des ersten Längstransistors(T1) in Abhängigkeitvon dem ersten Steuersignal (S1), – Erzeugen eines zweiten Steuersignals(S2) durch die Steuerschaltung (20) in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes (Vout) der Ausgangsspannung mitdem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungund dem Vergleich des Istwertes (Vext) der Versorgungsspannung mit demSollwert (VSext) der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung, – Ansteuerneines Steueranschlusses (ST2) eines zweiten Längstransistors (T2), der zwischeneinen Ausgangsanschluss (A10a) einer Ladungspumpe (10)und den Ausgangsanschluss (A) der integrierten Schaltung geschaltetist, mit dem zweiten Steuersignal (S2), – Verändern des Widerstandes einersteuerbaren Strecke des zweiten Längstransistors (T2) in Abhängigkeitvon dem zweiten Steuersignal (S2).
    [15] Verfahren zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung nach Anspruch 14, umfassend die folgendenSchritte: – Erzeugeneines ersten Vergleichssignals (VS1) durch eine erste Vergleicherschaltung(30) in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes der Versorgungsspannung (Vext) mitdem Sollwert (VSext) der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung, – Erzeugeneines zweiten Vergleichssignals (VS2) durch eine zweite Vergleicherschaltung(40) in Abhängigkeitvon dem Vergleich des Istwertes (Vout) der Ausgangsspannung mitdem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltung, – Erzeugeneines ersten Pulssignals (PS1) mit einem hohen und einem niedrigenPegel (P1, P2), wobei der hohe Pegel (P1) des ersten Pulssignalswährendeiner Zeitdauer (THP1) erzeugt wird und die Zeitdauer des hohenPegels des ersten Pulsignals von einem Verhältnis des Istwertes (Vout)der Ausgangsspannung zu dem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannungder integrierten Schaltung abhängigist, – Erzeugeneines zweiten Pulssignals (PS2) mit einem hohen und einem niedrigenPegel (P1, P2) innerhalb der Zeitdauer (THP1) des hohen Pegels (P1) desersten Pulssignals (PS1), wobei der hohe Pegel des zweiten Pulssignalswährendeiner Zeitdauer (THP2) erzeugt wird und die Zeitdauer des hohenPegels des zweiten Pulssignals von einem Verhältnis des Istwertes (Vext)der Versorgungsspannung zu dem Sollwert (VSext) der Versorgungsspannungder integrierten Schaltung abhängigist.
    [16] Verfahren zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung nach Anspruch 15, umfassend die folgendenSchritte: – Verlängern derZeitdauer (THP1) des ersten Pegels des ersten Pulssignals (PS1),wenn das Verhältnis ausdem Istwert (Vout) der Ausgangsspannung zu dem Sollwert (VSout)der Ausgangsspannung der integrierten Schaltung abnimmt, – Verkürzen derZeitdauer (THP1) des ersten Pegels des ersten Pulssignals (PS1),wenn das Verhältnis ausdem Istwert (Vout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungzu dem Sollwert (VSout) der Ausgangsspannung der integrierten Schaltungzunimmt, – Erniedrigendes Widerstandes der steuerbaren Strecke des ersten Längstransistors(T1) in Abhängigkeitvon der Verlängerungder Zeitdauer (THP1) des ersten Pegels des ersten Pulssignals (PS1), – Erhöhen desWiderstandes der steuerbaren Strecke des ersten Längstransistors(T1) in Abhängigkeit vonder Verkürzungder Zeitdauer (THP1) des ersten Pegels des ersten Pulssignals (PS1).
    [17] Verfahren zur Stabilisierung einer internen Spannungeiner integrierten Schaltung nach einem der Ansprüche 15 oder16, umfassend die folgenden Schritte: – Verlängern der Zeitdauer (THP2)des ersten Pegels des zweiten Pulssignals (PS2), wenn das Verhältnis ausdem Istwert (Vext) der Versorgungsspannung zu dem Sollwert (VSext)der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung abnimmt, – Verkürzen derZeitdauer (THP2) des ersten Pegels des zweiten Pulssignals (PS2),wenn das Verhältnis ausdem Istwert (Vext) der Versorgungsspannung zu dem Sollwert (VSext)der Versorgungsspannung der integrierten Schaltung zunimmt. – Erniedrigendes Widerstandes der steuerbaren Strecke des zweiten Längstransistors(T2) in Abhängigkeitvon der Verlängerungder Zeitdauer (THP2) des ersten Pegels des zweiten Pulssignals (PS2), – Erhöhen desWiderstandes der steuerbaren Strecke des zweiten Längstransistors(T2) in Abhängigkeitvon der Verkür zungder Zeitdauer (THP2) des ersten Pegels des zweiten Pulssignals (PS2).
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